金融界2025年7月24日消息，国家知识产权局信息显示，上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司取得一项名为“晶圆承载组件及晶圆抛光系统”的专利，授权公告号CN223130360U，申请日期为2024年09月。

　　专利摘要显示，本实用新型提供了一种晶圆承载组件及晶圆抛光系统，晶圆承载组件包括壳体、承载座以及超声波发生装置，所述壳体具有用于盛放清洗液的容纳腔，所述承载座设置于所述壳体内，所述承载座用于承载晶圆，所述超声波发生装置用于在所述壳体内的清洗液中产生超声波，以清洗晶圆和/或研磨头。该晶圆承载组件通过超声波发生装置，在壳体的容纳腔内的清洗液中产生超声波，在晶圆研磨单元能够充分清洗晶圆和/或研磨头表面颗粒物，减少或者避免了晶圆在研磨过程中被研磨头刮伤的情况，晶圆在研磨完成冲洗时能够及时去除晶圆表面颗粒物，提高了晶圆的良率。

　　天眼查资料显示，上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1150000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司参与招投标项目69次，财产线条，此外企业还拥有行政许可211个。

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